Wirtschaftliche Hochleistungsabscheidung für funktionale Bauteilbeschichtungen

Das Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung und Validierung einer Hochleistungssputterquelle und der dazugehörigen Prozesstechnik als die zukünftige, langfristig wettbewerbsfähige Abscheidetechnologie, für hochwertige Multilagenbeschichtungen (welche u.a. im Vorgängerprojekt SMART Coatings erarbeitet wurden). Neben der Hardware soll auch eine sogenannte „Virtuelle Maschine (VM)“ entwickelt werden, die durch eine neuartige Simulation des Abscheideprozesses eine Optimierung der Schichtzusammensetzung und –struktur erlaubt. ** Dieses Projekt wird von der FFG im Rahmen des Programmes Produktion der Zukunft gefördert.